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周波数調整器 - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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小型周波数調整器

AC100Vの周波数を50〜65Hzに調整可能な小型周波数調整器

商用AC100Vの周波数を50〜65Hzの範囲において調整可能な装置です。 パネルにある2個のボリウムで周波数と電圧を設定できます。 【特長】 ◆入力電源:AC100V 50/60Hz ◆出力容量:40W(ピーク出力300W) ◆出力範囲:周波数 50〜65Hz       電圧 AC75〜135V ◆設定精度:周波数 ±0.9%       電圧 ±8%

  • 電源

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インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもH/Lを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。 SFE‐B03に搭載したIGF-201型 100mmビームのイオンソースを2基搭載しています。 イオンソース1台あたり最大24個、計48個同時処理が可能です。 SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。 今までインラインでは困難であった小型ワーク(2.0×1.6、1.6×1.2)の周波数調整も、安定して量産できます。 ユニット毎に各機器の分解が可能で、メンテナンス性を考慮した設計となっています。 【装置性能】 ○タクトタイム :0.3sec/pc以下          ※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合 ○調整精度 :±1.5ppm以下 ○処理数 :最大24列(p4.0)×32列 ○生産量 :12000pcs /時間 以上 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他半導体製造装置

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ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」は、省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。(※SMD3.2 × 2.5 24 MHz H1000 ppm/s L50 ppm/s の場合) 新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24~32個同時処理が可能となりました。 高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1.6以下の微小ワークも安定して生産できます。 FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。 イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。 2室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。 【特徴】 ○コンパクト設計 ○高精度 ○低価格 ○高安定性 ○高再現性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他半導体製造装置

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