コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性
ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」は、省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。（※SMD3.2 × 2.5, 24 MHz, H1000 ppm/s, L50 ppm/s の場合） 新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24～32個同時処理が可能となりました。 高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1.6以下の微小ワークも安定して生産できます。 FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。 イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。 ２室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。 【特徴】 ○コンパクト設計 ○高精度 ○低価格 ○高安定性 ○高再現性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○対応可能ワーク →水晶振動子 水晶発信器 (3225, 2520, 2012, 1612, 1210) →音叉振動子 (4115, 3215, 2012) ○装置構成 2室（仕込室, 処理室）インターバック式 ○搬送系 1軸 X方向のみ ○排気系 8インチ TMP ○イオンソース 100mmビーム矩形型 1式 → 32ビーム (4 mmピッチ) ○計測器 ネットワークアナライザー/周波数カウンター 4台 (6端子/1台) ○周調工程 1～4段階 (H, M, L, LL) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
水晶デバイス周波数調整 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
