インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」
コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性
インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。 ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型 １００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。 イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。 ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。 今までインラインでは困難であった小型ワーク(2.0×1.6、1.6×1.2）の周波数調整も、安定して量産できます。 ユニット毎に各機器の分解が可能で、メンテナンス性を考慮した設計となっています。 【装置性能】 ○タクトタイム ：０．３ｓｅｃ/ｐｃ以下 ※１８MHz以上のワーク、１列２４個以上の場合 ○調整精度 ：±１．５ｐｐｍ以下 ○処理数 ：最大２４列(ｐ４．０)×３２列 ○生産量 ：12000pcs /時間 以上 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社昭和真空
- 価格：応相談
