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EBSDデータおよびEDS／WDSスペクトルイメージの同時収集が容易に行える！電子線後方散乱回折解析装置のご紹介
『Quasor II EBSD System』は、EBSDデータおよびEDS／WDSスペクトル イメージの同時収集が容易に行える電子線後方散乱回折解析装置です。 走査型電子顕微鏡(SEM)およびマイクロアナリシス分析によって観察される 幅広い材料の物理特性に影響を与える結晶構造を特性評価します。 1回の測定でサンプルの構造情報も化学的情報も得ることができます。 【特長】 ■インデックスされた99％のピクセルで最大600フレーム/秒の収集速度 ■1回の測定でサンプルの構造情報も化学的情報も得られる ■減算または除算によるバックグラウンド除去 ■イメージクロップ ■FFTまたは放物線でのフラットフィールディング ※製品の詳細については、直接お問い合わせください。
EBSDパターン(菊池パターン)、金ワイヤーボンド接合部の解析例をご紹介します
EBSD(電子線後方散乱回折)法は、電子線照射により得られた反射電子回折 パターンから個々の結晶の方位情報を取得しマップ化したもので、さらに 定量的、統計的なデータとして結晶方位(配向性)のみならず結晶粒分布や 応力ひずみ等の材料組織状態を調べる手法です。 例えば、SEM中で試料を大きく傾斜し電子線を照射したとき、試料が結晶性 の物であれば、試料内で電子線回折が生じます。そのパターンを指数付け することでその点の結晶方位を求めることが可能となります。 結晶方位差を観察することで、結晶粒内の残留応力を推測することができます。 【特長】 ■個々の結晶の方位情報を取得しマップ化 ■結晶方位、結晶粒分布や応力ひずみ等の材料組織状態を調べる ■結晶方位差を観察することで、結晶粒内の残留応力を推測可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
