セラミック製品 ＥＳＣ（静電チャック）
材料を創設し、いつの日かを創造する
各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
基板×株式会社NTKセラテック - メーカー・企業と製品の一覧
基板の製品一覧
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セラミック製品 ＺＰＦ（ゼロ膨張セラミックス）
材料を創設し、いつの日かを創造する
セラミックスの高剛性を保ちながら、超低膨張性の再結晶ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的材料です。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
セラミック製品 ポーラスチャック
材料を創設し、いつの日かを創造する
平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。 ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
