セラミック製品 ＥＳＣ（静電チャック）
材料を創設し、いつの日かを創造する
各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
基板(静電チャック) - メーカー・企業と製品の一覧
基板の製品一覧
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セラミック製品 ＺＰＦ（ゼロ膨張セラミックス）
材料を創設し、いつの日かを創造する
セラミックスの高剛性を保ちながら、超低膨張性の再結晶ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的材料です。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
太陽電池製造装置向け 複合材料MMC
セラミックスを超える高熱伝導！シリコン並みの低熱膨張を実現！
SiCセラミックスと金属シリコンを複合することにより、セラミックスを超える高熱伝導とシリコン並みの低熱膨張を実現しました。 SiCやAlNを超える熱伝導率！ 複合比率を変更することにより、さまざまな特性を実現できます。 表面処理（めっき）が可能で、静電チャックにも使用可能です。 セラミックスよりも大型化が可能です。 SiCとアルミの組み合わせもラインナップしてます。 ●●●詳しくはPDFカタログを参照ください。●●●
- 企業：日本ファインセラミックス株式会社
- 価格：応相談
アルミより軽く鉄の剛性 スーパーマテリアルSA001誕生
独自の複合化技術が生んだシリコン／アルミ複合材料SA001は アルミより軽く鋳鉄のヤング率を持ち、接合技術で中空構造にも対応。
金属シリコンとアルミニウムの複合材料SA001を開発しました。 アルミより軽く、鋳鉄より高いヤング率で、比剛性はアルミの2倍を誇るスーパーマテリアルの誕生です。 接合技術により中空構造や流路内臓にも対応します。 ●採用実績：高精度3次元測定機部品、半導体製造装置部品 ●用途提案：静電チャック用温調プレート ※材質をアルミからSA001に変更することで、アルミナＥＳＣとの熱膨張差問題を解消
- 企業：日本ファインセラミックス株式会社
- 価格：応相談
