外観検査装置（SWL-05）
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です
・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
外観検査装置×株式会社ジャステム - メーカー・企業と製品の一覧
外観検査装置の製品一覧
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外観検査装置 (OSI-01型)
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
ウェハ外観検査装置 (MWL-02型)
本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う装置です
マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
