多層膜スパッタ装置 - 企業1社の製品一覧

多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ活用が可能

『S600』は、多層・積層成膜プロセスの改善により電子部品の品質強化と生産性向上に貢献する多層膜スパッタリング装置です。高品質・高精度な成膜によりデバイス品質の向上。高スループット、生産歩留り向上、材料利用効率の最適化によりコスト競争力をアップします。多様な成膜条件に対応したオプションにより多品種少量生産、柔軟な生産計画へ対応可能です。【特長】 ■最大5基のカソード搭載により多様なプロセスと高生産性を両立 ■T/S距離調整により長期間の高膜厚均一性を維持 ■独自プラズマ制御(MPスパッタ)技術にてスパッタ薄膜特性を向上 ■ヒーターステージ(1000℃)搭載で高温プロセスが可能 ■開発工程～量産工程まで様々な用途へ活用が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。