フッ素系溶媒対応チラー ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー
昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです
フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。 また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。 ＜ペルチェ式チラー＞ ThermoRack1201/1801 ThermoCube NIKOLA3K/5K ＜冷凍機式チラー＞ M-75HFE ・Fluorinert（FC-3283等）、Novec（HFE-7100、HFE-7200等） Galden （HT-200等）、Opteon（SF10等）など多くのフッ素系溶媒に対応できます ・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ イニシャルコストが抑えられます ・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます ・ペルチェ式チラーモデルは密閉性が高く結露による水分の混入がありません。IPAなどの溶媒で脱水ができないフッ素系溶媒にも好適です
- 企業：エムエス機器株式会社
- 価格：応相談
