昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです
フッ素系溶媒は、絶縁性が高いため、半導体製造装置や各種測定装置の温調用循環液として広く使用されています。 また、不燃性・不活性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 このフッ素系循環液には専用に設計されたチラーがございます。 ＜ペルチェ式チラー＞ ThermoRack1201/1801 ThermoCube NIKOLA3K/5K ＜冷凍機式チラー＞ M-75HFE ・Fluorinert（FC-3283等）、Novec（HFE-7100、HFE-7200等） Galden （HT-200等）、Opteon（SF10等）など多くのフッ素系溶媒に対応できます ・タンク容量・内部配管容量がわずかなので、高価なフッ素系溶媒の使用量をへらすことができ イニシャルコストが抑えられます ・密閉構造で貴重なフッ素系溶媒が蒸発しにくいのでランニングコストを抑えることができます ・ペルチェ式チラーモデルは密閉性が高く結露による水分の混入がありません。IPAなどの溶媒で脱水ができないフッ素系溶媒にも好適です
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基本情報
＜ThermoRack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa 外寸法(WxDxH)mm：483 x 610 x 221 ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @20℃ ：200W～600W@20℃(6モデル） ポンプ：1Lpm@0.24MPa～3Lpm＠0.2Mpa(９タイプ) 外寸法(WxDxH)mm：280 x 320 x 320 ＜NIKOLA3K / 5K＞ 設定温度 : -10～80℃ 冷却能力 @20℃：(3K) 3000W / (5K) 5000W ポンプ：38Lpm@0.55MPa 外寸法(WxDxH)mm：566 x 711 x 897 ＜M-75HFE＞ 設定温度 : -15～35℃ 冷却能力 @20℃：1600W ポンプ：11Lpm@0.42MPa 外寸法(WxDxH)mm：413 x 610 x 664
価格帯
納期
用途／実績例
＜アプリケーション＞ ・ドライエッチング ・テスター ・ステッパー ・電磁石 ・電子ビーム ・レーザー装置
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
エムエス機器は、世界トップシェアのチラーメーカー米国NESLAB社 （現Thermo Fisher Scientific社）の日本総代理店として、約50年に亘り培った チラービジネスの経験と、述べ20,000台を越えるチラーの納入実績を持つ技術の専門商社です。2014年より、米国Solid State Cooling Systems社の ペルチェ方式チラーの取り扱いを開始し、環境問題やエネルギー問題に敏感なお客様のニーズを踏まえた商品をご提供しております。 ISO 14001:2004：JQA-EM4217、ISO 9001:2000：JQA-QMA12892
