半導体製造工程のプラズマエッチングに好適！消費電力最大93％削減！騒音・振動も防止！
『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93％削減 ■冷却水使用量を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース
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基本情報
【基本仕様】 温度範囲：－10℃～80℃ 冷却能力：Thermorack1201 ： 1340W＠20℃ ThermoRack1801 ： <High Flow>1600W@20℃ <Medium Flow> 1800W@20℃ <Low Flow>2000W@20℃ 加熱能力：Thermorack1201 ： 2000W＠20℃ ThermoRack1801 ： <High Flow>3000W@20℃ <Medium Flow> 3200W@20℃ <Low Flow>3400W@20℃ 接液部材質：アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー 外寸法：L483×W610×H221(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
世界中のFABで、フロン対策、温暖化（省エネ）対策、老朽化対策、プロセス改善の用途で広くご採用いただいております。 各社プラズマエッチング装置に対応した通信インターフェイスを装備しております。各種接続事例をご用意しておりますのでお問い合せ下さい。
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
エムエス機器は、世界トップシェアのチラーメーカー米国NESLAB社 （現Thermo Fisher Scientific社）の日本総代理店として、約50年に亘り培った チラービジネスの経験と、述べ20,000台を越えるチラーの納入実績を持つ技術の専門商社です。2014年より、米国Solid State Cooling Systems社の ペルチェ方式チラーの取り扱いを開始し、環境問題やエネルギー問題に敏感なお客様のニーズを踏まえた商品をご提供しております。 ISO 14001:2004：JQA-EM4217、ISO 9001:2000：JQA-QMA12892