更新日： 集計期間:2026年06月03日～2026年06月30日
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3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシステム
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現
搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】
自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能
4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズは、リンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での使用が可能です。CE認証を取得しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
4軸産業用ロボット
この4軸ロボットは、大型で重量のある製品を高速かつ非常に丁寧に移動、回転させることができます。コンパクトなデザインで、既存のラインへの組み込みにも最適です。
【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IoT活用で製造施設内の様々な事務ワーク・雑務の業務負荷の解消に役立つご提案！
従来から製造業界では、ファクトリーオートメーションが進んでおり、 生産性向上・品質向上・リードタイム短縮を中心にデジタル化を推進しています。 要因として、現場での卓越した技術を持つ経験豊富なベテラン人材が引退し 新たに採用する人材の質の変化や、少子高齢化などでの採用難があると 考えられます。 そのなかで、モノづくりだけでなく、製造過程のデータや出荷後の販売管理 データなどを活用し、生産性向上・品質向上・リードタイム短縮を図ることも 求められています。 当社では、IoT活用で製造施設内の様々な事務ワーク・雑務の業務負荷の解消 (業務の無人化)に役立つアプリケーションや製品をご提案致します。 【製品とサービス】 ■ロボットAIによる塗装、誘導、組立、ピッキング、検査 ■倉庫内の自動AGV/AMRでの搬送システム ■6軸ロボットとAMR/スライダーのシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度＆高剛性！ 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
重量物の搬送に最適！ロングリーチで上下ストローク4.8m可能なロボット
不二越製『SC400L』は、余裕の可搬質量で、従来困難であった大形・重量物の 搬送が可能なロボットです。 上下ストロ－ク4.8mで、ロングリーチを生かして、中2階の搬送ラインへの 持ち上げ用途に最適です。 【特長】 ■上下ストロ－ク4.8m ■中2階への持ち上げ用途に最適 ■フレキシブルなライン構成が可能 ■可搬質量400kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【研究開発用搬送ロボット・AGV】軽量、コンパクト、高い柔軟性でありながら、簡単に設置が可能です。特に教育分野に適しています。
JAKA Zu 7は、操作が簡単なGUIビジュアルプログラミングを採用しており、専門知識のハードルが低く、導入が簡単です。 可搬重量7kg、動作範囲819mm。位置決め精度が高く、重量のある製品運搬にも活用できます。 【主な特徴】 ・GUIビジュアルプログラミングで専門知識のハードルが低い ・フィードバック制御で安全性も担保 ・Wi-Fi通信で余計な配線不要（有線での動作も可能） ・高速・高精度 ・ハイコストパフォーマンス ・省スペース
【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【研究開発用搬送ロボット・AGV】軽量、コンパクト、高い柔軟性でありながら、簡単に設置が可能です。特に教育分野に適しています。
JAKA Zu 12は、操作が簡単なGUIビジュアルプログラミングを採用しており、専門知識のハードルが低く、導入が簡単です。 可搬重量12kg、動作範囲1,327mm。高い可搬重量にもかかわらず、比較的軽量で、あらゆる角度で取付が可能です。位置決め精度が高く、梱包やパレタイジングなどに活用できます。 【主な特徴】 ・GUIビジュアルプログラミングで専門知識のハードルが低い ・フィードバック制御で安全性も担保 ・Wi-Fi通信で余計な配線不要（有線での動作も可能） ・高速・高精度 ・ハイコストパフォーマンス ・省スペース
【研究開発用搬送ロボット・AGV】軽量、コンパクト、高い柔軟性でありながら、簡単に設置が可能です。特に教育分野に適しています。
JAKA Zu 18は、操作が簡単なGUIビジュアルプログラミングを採用しており、専門知識のハードルが低く、導入が簡単です。 可搬重量18kg、動作範囲1,073mm。位置決め精度が高く、吊り上げ作業から繊細で精密な作業まで対応可能。梱包やパレタイジング、溶接やネジ締めなどさまざまな作業に活用できます。 【主な特徴】 ・GUIビジュアルプログラミングで専門知識のハードルが低い ・フィードバック制御で安全性も担保 ・Wi-Fi通信で余計な配線不要（有線での動作も可能） ・高速・高精度 ・ハイコストパフォーマンス ・省スペース
自動車工場内での車両搬送、大型駐車場内での車両搬送、自動車販売店での展示車の入れ替え作業、故障車の移動（ロードサービス）に最適
中国、深圳のベンチャー、Shanyi Technologies が開発、量産化に成功したバレーパーキングロボット（車両搬送ロボット）COMBO に横移動、コマ回りの回転の機能が追加された次世代品 Drifting COMBO になります。 従来の縦方向の移動に横移動を加えた、車両の姿勢を保ったままの斜めの移動も可能です。 車両に対して横からの進入、搬送、そして横からの脱出も可能です。 エンジンをふかす必要がないので、屋内で使用しても排気ガスが充満することがありません。自動車工場内のコンベアから次のコンベアまでの車両搬送作業、検査工程、屋外の完成車ヤードへの車両搬送に最適です。 また、1台のみをリモコンで動かすこともできます。自動車販売店での展示車の入れ替え作業、故障車、違法駐車、放置車両の移動にも最適です。 コンクリート、アスファルトの路面でも使用可能。 段差は 2cm、路面の亀裂は 5mm までOKです。 3t (3000kg) までの車両に対応。 坂道は 8° まで対応、タイヤの脱輪防止対策も施されています。 2cm までの水たまりなら雨の日の使用もOKです。
自動車工場内での車両搬送、大型駐車場内での車両搬送、自動車販売店での展示車の入れ替え作業、故障車の移動（ロードサービス）に最適
中国、深圳のベンチャー Shenzhen Shanyi Technologies（深圳閃移技術有限責任公司）が開発、量産化にこぎつけた自動車両搬送ロボット・自動駐車ロボット（自動バレーパーキングロボット：Valet Parking System) になります。 畳のようなロボットが自動車の下に潜り込み、前後に分離、合体を繰り返しながら車両の搬送をします。 今までの縦方向、左右の旋回に加えて、今回は横移動、回転の機能が追加になりました。 傾斜も 10% (5.6°) まで対応可能になりました。 全自動タイプは、メーカーの全自動システムを使うことで50台までのロボット (AGV) をそれぞれの車両に効率的に割り当てながら車両搬送することが可能になります。 一方、1台のみを動かすリモコンタイプは、違法駐車の移動、ロードサービス、レッカーサービスで事故車両・故障車のフルフラット積載車までの搬送、積み込みに最適です。Aピラーとハンドルを握りながら手押しする重労働から解放されます。 当社は日本での総代理店になります。修理、メンテナンスにも対応、横浜市都筑区の弊社駐車場でのデモ、実験も可能です。
オムニホイールによる四輪駆動の全方位移動型AMR『AiTran400』 ワイヤレス給電システムで24時間無人搬送可能
AI搭載AMR「AiTran400」は独自設計技術のオムニホイルで前後・左右・斜め・その場回転などを可能にした製品です。 上位システムとの連携によりエレベータや自動扉との連携も可能です。 【特長】 ◆複数台制御により優先順位の設定が可能 ◆工場レイアウトをCADデータでサーバに登録 走行経路の教示や変更は簡単タブレット操作 ◆±5～20mmの高精度位置決め ◆進行方向上の障害物を検知すると自動で減速・停止 ◆目的地を指定すると経路を自動生成 地図にない人や障害物を検知すると経路を再考して迂回可能 (株)三明はダイヘンの正規代理店（商社）です
ISO3691-4第2版に対応
当社は「現場適用のための協働ロボット搭載AMRの安全確保の考え方」の オンラインセミナーを開催します。 本セミナーでは、AGVS（AMR）関連規格の動向に触れつつ、AGVS/AMRおよび AMR＋ロボットアーム（MoMas）における安全確保の考え方を紹介します。 また、AVGS（AMR）はロボットの０軸として扱うのか、また、これに伴い 協調作業空間が拡大する（運転区域が隔離空間となる可能性）といった課題に ついても考察します。2023年夏発行のISO 3691-4第2版に対応した内容で解説 いたします。 皆様のご参加を心よりお待ちしております。 【開催概要】 ■日時：2026年8月27日（木） 15：00～17：00 ※開催当日12：00まで申込受付 ■受講料：29,700円（テキスト代、録画視聴、税込、1名分） ■主催：日刊工業新聞社 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
タクシーの配車システムのような全自動の車両搬送システムになります。
横浜市都筑区の弊社駐車場にて、車両搬送ロボットの簡単な全自動システムが立ち上がりました。 リモコンを使わず、上位PCからコマンドを送り、ロボットが自動車を搬送するシステムになります。 事前に地図を作成することで、Aの地点を出発、B地点で車両のタイヤを持ち上げ搬送、C地点でタイヤを下ろし、A地点に戻るというような操作をリモコンなしで行います。 電池の残量があるしきい値を下回ったら自動充電装置に向かう設定も可能です。 ひとつのシステムで最大50台の車両搬送ロボットの制御が可能です。 真横のカニ歩き、その場回転のコマ回りの機能も含まれています。 将来のタイヤ交換やその他修理、メンテナンス作業にも対応しております。
自動バレーパーキングロボット・自動車工場向け車両搬送ロボットに横移動、回転の機能が追加になりました。
畳のようなロボットが自動車の下に潜り込み、前後に分離、合体を繰り返しながら車両の搬送をします。 今までの縦方向、左右の旋回に加えて、今回は横移動、回転の機能が追加になりました。 旧製品には駆動部が前部ロボットだけでしたが、今回の新製品には前部ロボットと後部ロボットの両方に駆動部があり、力強い搬送、移動が可能になります。 傾斜も 8% (4.5°) まで対応可能になりました。 エンジンをふかす必要がないので、屋内で使用しても排気ガスが充満することがありません。自動車工場内の検査工程、屋外の完成車ヤードへの車両搬送に適しています。 また、1台のみをリモコンで動かすこともできます。自動車販売店での展示車の入れ替え作業、故障車、違法駐車、放置車両の移動にも適しています。 横浜市都筑区の当社駐車場でもリモコンで1台を動かすデモ、および複数台を同時制御する全自動タイプの提案を行っております。 問い合わせ先：（日本総代理店）カンタム・ウシカタ株式会社 info@kantum.co.jp
