半導体や液晶部品のコーティング事例を紹介！
装置内で部品（カバーリング、石英への溶射、シャワープレート）が、プラズマにより損傷を受け劣化したものを解決した事例を紹介！
半導体・液晶業界では、ICチップや液晶パネルの製造ラインなど クリーンな環境で製造しています。 その様な環境下で製造装置は、絶縁性や耐プラズマ性などが要求されます。 セラミック溶射でそのお困りごとを解決した事例を紹介します。 ■課題 装置内で部品（カバーリング、石英への溶射、シャワープレート）が、 プラズマにより損傷を受け劣化した ■提案 耐プラズマ性や、コンタミ防止などの効果のあるコーティングを提案 ■効果 損傷を受けたり部品の寿命が延び、コーティングが何度も再生可能になった 部品を新品で購入する費用が抑えられ大変喜ばれた
- 企業：日本コーティング工業株式会社 本社、大阪営業所、東京営業所、関西工場、東京工場
- 価格：応相談
