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用チラー - 企業1社の製品一覧

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フッ素系溶媒用チラー M-75HFE

高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

フッ素系溶媒(フロリナート、ノベック、ガルデン、オプテオン)は、絶縁性が高いため、電食を防止する効果が非常に高く、装置のメンテナンスを容易に行うことが可能です。 また、不燃性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 (フッ素系溶媒の特徴)  ・電気絶縁性が高い  ・熱伝導性が高い  ・熱的安定性が高い  ・化学的安定性が高く不活性  ・毒性が低く、不燃性のため安全性が高い

  • その他環境機器
  • その他半導体製造装置

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