高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー
フッ素系溶媒（フロリナート、ノベック、ガルデン、オプテオン）は、絶縁性が高いため、電食を防止する効果が非常に高く、装置のメンテナンスを容易に行うことが可能です。 また、不燃性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 （フッ素系溶媒の特徴） ・電気絶縁性が高い ・熱伝導性が高い ・熱的安定性が高い ・化学的安定性が高く不活性 ・毒性が低く、不燃性のため安全性が高い
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基本情報
＜特徴＞ ・Fluorinert（FC-3283）、Novec（HFE-7100、HFE-7200） Galden （HT-200）、オプテオン（SF10）などのフッ素系溶媒に対応 ・タンク容量がわずか1.9Lなので、高価な液体の使用量が抑えられる ・密閉構造で高価な液体が蒸発しにくい ・吐出圧が0.4MPa以上の高揚程ポンプを採用 ・設定温度が-15℃～+35℃なので、低温にも対応 ・ホットガスバイパス方式採用による高い温度安定性と応答性 ・CE、UL、KC-Mark対応
価格帯
納期
用途／実績例
＜アプリケーション＞ ・ドライエッチング ・テスター ・ステッパー ・電磁石 ・電子ビーム ・レーザー装置
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企業情報
エムエス機器は、世界トップシェアのチラーメーカー米国NESLAB社 （現Thermo Fisher Scientific社）の日本総代理店として、約50年に亘り培った チラービジネスの経験と、述べ20,000台を越えるチラーの納入実績を持つ技術の専門商社です。2014年より、米国Solid State Cooling Systems社の ペルチェ方式チラーの取り扱いを開始し、環境問題やエネルギー問題に敏感なお客様のニーズを踏まえた商品をご提供しております。 ISO 14001:2004：JQA-EM4217、ISO 9001:2000：JQA-QMA12892