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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強制給油方式の採用 ○大気圧付近でも排気速度が安定している ○特殊用途向けにもオプション対応 →標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様･B仕様･H仕様)を用意 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
