直動案内機器 クリーン精密位置決めテーブル TC
いろいろな用途で使用できる多彩な形式
半導体・液晶関連製造装置など、高いクリーン度が要求される環境下での使用に最適な位置決めテーブルです。
- 企業：日本トムソン株式会社
- 価格：応相談
真空ポンプ(クリーン) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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真空ポンプの製品一覧
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クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
クリーン精密位置決めテーブル『TC…EB』
省スペース化に貢献！クリーン環境用低発じんグリースCGLを封入し、発じんを抑制
『TC…EB』は、軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブル「TE」を ベースに、テーブル内部の密閉性を高めた構造の位置決めテーブルです。 強力マグネットシートで確実に吸着し、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。 密閉空間から空気を吸引することで周辺への発じんを防ぎ、IKO測定法による 清浄度評価で、クラス3を実現しています。 【特長】 ■軽量・低断面・コンパクトなクリーンテーブル ■清浄度クラス3に対応 ■高耐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本トムソン株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気・排気両方に対応（JVP-20Proは吸気のみ）。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
- 企業：株式会社Joman 本社
- 価格：1万円 ~ 10万円
クロー真空ポンプ MINK MV 0310 B
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューション。
搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力 圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。 ３～7割の省エネになるケースもあります！ ■ 排気がクリーン 圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染 されたり、汚染されたガスが周囲に排 気されることがありません。 ■ フレキシブル 可変速ドライブ （VSD）搭載。お客様用途に合わせ柔軟に適応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
オイルフリーコンビネーションポンプ（１ポンプ仕様）
【新製品】印刷機や製本機に最適なオイルフリーコンビネーションポンプです。
１ポンプでバキューム（真空）とブロワの両方を使用できるコンビネーションポンプです。印刷、製本、製袋工場に最適です。 【特長】 ■オーバーホールサイクル20,000時間を達成 ■メンテナンス性向上 ■排気温度を大幅に低減（アフタークーラ仕様） 【仕様】 ■真空度 0～60kPa ■圧力 0～70kPa ■モータ出力 5.5kW ■風量 0～118m3/h ※オイルフリーコンビネーションポンプ（1ポンプ仕様）はトップランナー対応高効率モータを搭載しています。
- 企業：オリオン機械株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ JVP-10L
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気のみ対応。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
- 企業：株式会社Joman 本社
- 価格：1万円 ~ 10万円
クリーン精密位置決めテーブル『TC』
強力マグネットシートで確実に吸着し、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉！
『TC』は、軽量・低断面・コンパクトなクリーン精密位置決めテーブルです。 センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に直接取り付ける構造なので、 省スペース化に貢献。 また、主要構成部品は、アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金と ステンレス鋼(ステンレスシート)を使用しており、耐食性に優れています。 【特長】 ■軽量・低断面・コンパクト ■清浄度クラス3に対応 ■高耐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
ロータリーベーン真空ポンプ『SOGEVAC NEO D』
低騒音、低排出、低メンテナンスの3拍子が揃った新製品。内蔵の排気フィルターによりオイルミストの排出とオイルロスを防止します。
『SOGEVAC NEO D』は、どのような吸気口圧力でも連続的に稼働し、 より少ない騒音と排出でよりよい職場環境を作り出します。 内蔵の排気フィルターがオイルミストの排出とオイルロスを防止、 クリーンなアプリケーションでは最長3年間メンテナンスフリーの運転が可能です。 【特長】 ■静かで使いやすい ■排気中のオイルスモークやオイルの損失がなく、クリーンな環境を確保 ■長い稼働：最長3年間メンテナンスフリー ■排気フィルタを内蔵、外付けのフィルターは不要 ■非常にコンパクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※デモ機あり
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
【デモ機貸出中！】オイルフリー真空ポンプ
クリーンで高品質な真空を【デモ機】で是非お試しください。
アネスト岩田では、到達圧力と排気速度の異なる多種多様な真空ポンプを用意しており、コストやニーズに合わせた製品をお選びいただけます！ 【特長】 ◆オイルフリーなのでメンテナンスが容易 ◆トルク変動が少ないスクロール式なので、漏れが少なく高効率 ◆空冷式を採用したコンパクトタイプ ★☆実際に試せる、デモ機の貸出も実施中☆★ 「どれぐらいクリーンなの？」「真空度を確認したい！」等 デモ機で実際にご確認いただけます。 ご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 ◎その他、製品概要はカタログダウンロードよりご覧ください。
- 企業：アネスト岩田株式会社
- 価格：応相談
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
垂直架台型 電動ヘッド脱気シーラー・真空包装機 CS80-K１
ドラム缶やペール缶、専用ボックスの内袋が得意！工程に合わせてヘッドが連動！
ドラム缶やペール缶、専用ボックスの内袋の脱気、シールを最も得意とします！ 立体的な物の包装に適した構造で上部でシールするタイプです。 タッチパネルで指一本の操作で楽にヘッドが上下できるので、 ワークにあわせて高さを微調整できます。 さらに、脱気～シール～終了の工程に連動してテーブルが上下するので、 確実な脱気、美しいシールが可能です。 シリーズで下記タイプもご用意しております。 【仕様】 ・シール長が800mm,1000mm ・ガス充填/置換仕様、クリーンルーム仕様、両面加熱仕様 ・シリンダー駆動式タイプ
- 企業：株式会社増井技研
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『ECODRY 40 / 65 plus』
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞
真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
- 企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
省エネスマートエジェクタ『SC1 コンバム』
低圧力で高い真空度を実現！コンパクトな構造の省エネスマートエジェクタ
『SC1 コンバム』は、本体幅10mmとコンパクトな構造の 省エネスマートエジェクタです。 定格圧力0.18MPaで到達真空圧力は-83kPaと、 低圧力で高い真空度を実現します。 吸着確認及び電磁弁制御機能がついたセンサが搭載されているほか、 停電時のワーク落下防止機能や、クリーンルーム等の環境で 使用できる集中排気機能なども備えています。 【特長】 ■省エネ ■省スペース ■低圧力で高い真空度 ■真空フィルター内蔵 ■センサ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コンバム株式会社 旧社名：妙徳
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
水封式真空ポンプ「MEA」
【3.7kW樹脂製の水封式真空ポンプ発売中】鋳鉄製真空ポンプよりも20％軽量で腐食リスクを排除！耐食性に優れてモータ直結
三浦工業株式会社は、ボイラの開発で蓄積してきた豊富なノウハウを活かし 各種ポンプを取り扱っております。 従来の0.5kW～2.2kWの樹脂製真空ポンプに加えて、 3.7kWの樹脂製真空ポンプMEA-37Eを販売中です。 耐食性に優れてモータ直結によりコンパクトで、装置に搭載しやすい真空ポンプに 大型の仲間が出来ました。水封式のため、作業環境がクリーンで水滴・水蒸気を 含んだ気体の吸引に好適です。 【特長】 ■鋳鉄製真空ポンプよりも20％軽量で腐食リスクを排除 ■耐食性に優れてモータ直結によりコンパクト ■作業環境がクリーンで水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：三浦工業株式会社
- 価格：応相談
精密空調機器 総合カタログ
省エネ、高精度を追求！容量制御を搭載した精密空調機器を掲載
『精密空調機器 総合カタログ』は、 環境装置の販売及設置工事等を行っている、備商株式会社の総合カタログです。 省エネ精密空調機「PAP miniシリーズ」をはじめ、 除湿・省エネ精密空調機「PAP Dシリーズ」、 設備用省エネ精密空調機「PAP Rシリーズ」等を掲載しています。 【掲載内容】 ■「PAPシリーズ」特長 ■アプリケーション例 ■PAP mini ■PAP D/Lシリーズ ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：備商株式会社
- 価格：応相談
CGK1Sシリーズ 0.4KW 小型中圧コンプレッサー
CGK1Sシリーズ 0.4KW 小型中圧コンプレッサー
最高圧力1.3MPa / オイルフリーでクリーンなエアーを供給します。 充填速度が速く小型でも充実した空気量が利用できます。 連続運転ができます。 大型から小型複数機に、用途に応じた稼動で省電力が図れます。 出力：0.4KW 制御圧力1.0MPa〜1.3MPa 最高圧力吐出量：37/42L/min 騒音：62〜70dB タンク容積：15L 外形：奥行き215 幅550 高さ510 質量：35Kg
- 企業：株式会社中央技研工業 岐阜事業所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ/コンプレッサーSECOファミリー
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
オイルクリーナー
抜群のフィルタリング能力で真空ポンプを守る
水分による真空ポンプ内部のオイル劣化を防ぐオイルフィルトレーションシステム（油水分離装置）です。ラボマスターLMシリーズ、ハイパークリーンWSシリーズ、計4機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
大型積層樹脂用 真空包装機 TV-7000
真空断熱パネル、炭素繊維強化プラスチック、セラミック樹脂等の真空包装に最適です
株式会社西原製作所は設立以来一貫して主に真空包装機等の技術開発を進めてきました。食品の包装と共に歩んで55年、新しい包装ニーズに対応できる製品を整えユーザの皆様に満足頂ける製品づくりに一層の技術開発に努めています。大型積層樹脂用 真空包装機 TV-7000は、これまで包装の難しかった大型積層樹脂等を真空包装することができます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社西原製作所
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ KCPHシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。
■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気がクリーンのため周囲をオイルで汚しません。 ■先進性能を搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
サニーテクノ ワイパー付き覗窓 WWZ-055
自信の持てる／ひと味違う／優しい製品
自信の持てる／ひと味違う／優しい製品 を開発コンセプトに、社会に役立つ製品を創造してまいります
- 企業：サニーテクノ株式会社
- 価格：応相談
サニーテクノ ワイパー付き覗窓 WWA-220
自信の持てる／ひと味違う／優しい製品
自信の持てる／ひと味違う／優しい製品 を開発コンセプトに、社会に役立つ製品を創造してまいります
- 企業：サニーテクノ株式会社
- 価格：応相談
【低振動・高効率】ロータリ真空ポンプ／日本ピスコ(PISCO)
低発塵で周囲環境への汚染を抑制！強制空冷式を採用し、低発熱を実現
『ロータリ真空ポンプ』は、特殊ロータ形状の採用により省スペース化を 実現した製品です。 自己潤滑性・耐摩耗性に優れたスーパーエンプラ、及び特殊表面処理に より高い耐久性を有しています。 また、低発塵性・低揮発性に非常に優れた真空用クリーングリースを使用し、 給油は不要。ポンプ単体だけでなく、ワンタッチ継手、排気クリーナ （排気音サイレンサ）をオプションとして各種ご用意しております。 【特長】 ■省エネ対応 ■特殊ロータ形状の採用により、省スペース化 ■強制空冷式を採用し、低発熱を実現 ■マグネットカップリングの採用により、回転軸シール摺動が無く、 シールによる発熱無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大喜産業株式会社
- 価格：応相談
オイルフリースクリュ真空ポンプ
世界初！真空ポンプの理想を追求した単段オイルフリースクリュ式
【ポイント】 ・完全ドライのクリーンバキューム ・安定した高性能 ・幅広いウ作動範囲 ・長時間連続運転可能 ・省メンテナンス無公害 ・超コンパクト設計 ・低騒音・低振動 ・ワンタッチ操作
オイルフリー真空ポンプ KCP100
1シリンダ仕様でバキューム・ブロワの両方を使用可能
・印刷機、製本機、製袋機などに ・信頼の国産ポンプ ・非接触構造でロングライフ(長寿命) ・アフタークーラ仕様の選択で排気温度を大幅に低減 ・排気空気はクリーンエアー
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ LEYVACシリーズ
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
