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大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
排気速度の低下なし！ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポンプのパックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電量削減に最適です。 ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため、空調機器の電力も削減します。 【特徴】 ○ドライポンプの省エネに貢献 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 ○発熱も抑え、空調機器の電力も削減 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
