真空蒸着システム Linear Ion Source
広範囲に良質蒸着コーティング膜を形成
大部分の不活性ガス及び活性ガスの一部などで簡単にイオンが得られる、真空蒸着システム
- 企業:パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所
- 価格:応相談
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広範囲に良質蒸着コーティング膜を形成
大部分の不活性ガス及び活性ガスの一部などで簡単にイオンが得られる、真空蒸着システム
合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能
内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、 スパッタの効率を増大させた、真空蒸着システム
アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することが できる装置です。
アーク蒸着で最も問題になるのは、イオンと一緒に発生されるμmの大きさの dropletです。