合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能
内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、 スパッタの効率を増大させた、真空蒸着システム
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基本情報
内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、スパッタの 効率を増大させた装置です。 ■□■メリット■□■ ■合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能 ■多様な反応性ガスによる反応性スパッタリングが可能 ■蒸着膜の厚さの均一性 ■広い面積のターゲット利用が可能 ■アーク蒸着の時と同じくMacro particle が非形成 ■低温工程が可能 ●その他詳細は、資料請求またはカタログをダウンロードして下さい●
価格情報
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納期
用途／実績例
真空蒸着システム
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先端技術の追求は、同時に自然環境に対する負荷を極限まで小さくする取り組みと私たちは考えています。この美しい地球の海、川、山に住む生物たちとの共存を可能にするため、私たちのテクノロジーが、ものづくりのプロセスのなかで活躍しています。 エコロジーに対する思いやりをもちながら、私どもはサーマルサイエンスのフォアランナーとして、無公害自動車開発へ向けての機械機能向上技術などスペシャリティを追求した付加価値の高い製品開発を推進しています。そして、多角的な経営展開と競争力のある製品技術の新規分野への参入など積極的な事業展開により、経営基盤の安定化を図っています。また、世界最高レベルの技術を保持するトップリーダー各社との技術提携により、新しい時代感覚と高度な技術力を蓄えて、世界中のユーザー様から厚い信頼を得ております。