粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社
粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置 ナノスケールの粒子を成膜できます。
研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量のリアクターサイズ ■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール ■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能 ■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転 ■粒子容器は取り外し可能 ＊量産用の装置ラインアップもございます。
- 企業：株式会社マツボー
- 価格：応相談
