粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置 ナノスケールの粒子を成膜できます。
研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量のリアクターサイズ ■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール ■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能 ■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転 ■粒子容器は取り外し可能 ＊量産用の装置ラインアップもございます。
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基本情報
研究開発用ラボ機からスケールアップした量産機のご提案ができます。 粒子ALDのソリューションプロバイダーとして次の事業を行っております。 ■研究開発サービス ■受託成膜（ミリグラムからキログラムまで） ■装置販売（ラボ機から量産機まで）
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用途／実績例
＜材料＞ - リチウムイオン電池 - 工業用粉末 - 他、色々な粒子材料 ＜用途＞ - 表面保護 - 耐腐食 - 機能性付加 - 安定化 - 他
詳細情報
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研究開発向け 粒子用 ALD （原子層堆積）装置
企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。