技術情報誌 202401-02 フォトレジスト中の金属粒子分析
sspICP-MSの原理、およびフォトレジスト中の金属粒子を測定した事例を紹介する。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 Single Particle ICP-MS(以下、spICP-MS)は、ICP-MSの高い感度と元素選択性を活かして特定の金属を含む微小かつ微量の粒子を検出し、その濃度および粒径分布を取得できる手法である。ここでは、spICP-MSの原理、およびフォトレジスト中の金属粒子を測定した事例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. spICP-MSの原理と特徴 ３. 有機溶媒直接導入法 ４. フォトレジスト中のAl, Fe, Cu粒子分析 ５. まとめ
- 企業：株式会社東レリサーチセンター
- 価格：~ 1万円
