半導体用 6軸ロボット
スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
軸ロボット(検査) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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軸ロボットの製品一覧
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セラミック・電気部品関連製品『セラミック基板自動分割装置』
金属皮膜付き基板にも対応いたします！
『セラミック基板自動分割装置』は、産業ロボットの 設計・製作・販売及びメンテナンスを行っている 株式会社研友のセラミック・電気部品関連製品です。 セラミック基板をスリットに沿って分割。 基板供給・検査（画像処理）・端材分割処理等の 工程を自動にて行います。 【工程内容】 ■基板供給 ■検査（画像処理） ■端材分割処理 ■一次分割（×方向） ■二次分割（Y方向） ■排出 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社研友
- 価格：応相談
『X・Y・θアライメントステージ』
3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動アクチュエータ “ミリオンアクチュエータ” を採用することで高精度送りを実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特徴】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能です！ ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイセルグループ株式会社
- 価格：応相談
高性能6軸ロボット RX160
過酷環境に対応する、高速・高精度 ６軸ロボットです。
RX160 6軸ロボットは、高い精度を誇り、ユニークな球体の動作範囲によりセル内のワークスペースを有効に使います。 さらに床置きだけでなく天井吊が可能能なため、設置の自由度があがります。アームは頑強で密閉構造(IP65)のため、高湿度環境、無菌・滅菌環境、クリーンルーム環境を含めた様々な使用環境に対応します。 ストーブリ独自の減速ギアは、他に類を見ない高精度、柔軟性および高速動作を実現し、メンテナンス作業の軽減にもつながります。 主なアプリケーションは、組立･検査･測定･位置付け･のり付け･ハンドリング･工作機械･パレタイジング･包装を行うロボット･研磨･バリ取りです。 【特徴】 ○密閉構造：クリーンもしくは厳しい環境においての使用・洗浄が容易 ○高剛性構造：動的性能を改善 ○複数の設置方法：様々なセルデザインにも柔軟に対応 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲：すべての動作範囲で最適な動作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
お求めやすく簡単操作 卓上ロボット『JR-V2000』：ジャノメ
高性能と低価格を両立させた、コストパフォーマンスの高いジャノメ デスクトップロポットの普及モデルです。
代表的なサイズで「塗布」や「ねじ締め」などの専用機とし、機能を絞り込むことで実用性を損なわず低価格を実現した卓上型の3軸ロボットです。 簡単ティーチングとカスタマイズ機能のオリジナルソフト「JR C-Points」、経路生成アプリケーションソフト「JR-GLayout」の採用や、高剛性構造など、ジャノメ ロボット上位機種JR2000Nシリーズとの共通部分も多く、コストパフォーマンスの高いモデルです。 多用途で利用可能な汎用性をもち、センサーを取り付け「ワークが正しくセットされていないときにアラームを鳴らす」といった作業ミスを監視するプログラムも作成可能です。 標準仕様を用いて「ピック＆プレイスロポット」や「カメラを用いた検査装置」を構築するなど、ジャノメ JR-V2000シリーズは生産現場の様々な砿シーンで作業を自動化するロボットとしてご使用頂けます。 組付け、ピック＆プレイス、カット、検査などお客様独自のロボットにカスタマイズしてご使用ください。
- 企業：高津伝動精機株式会社
- 価格：応相談
生産工場で使える安全協働型ロボット より拡がる自動化の可能性！
作業者を検知して自動で減速・停止するスマートな協働型ロボットです。工場内の自動化をさらに身近なものにします。
TX2シリーズ産業用協働タイプ6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。保護柵のないセルで、人とロボットによる作業エリアの共有が可能になります。 新型のTX2シリーズ産業用協働ロボットは、安全規格を取得しており、安全機能の基準であるPLeおよびSIL3に適合するため、センサ等と組合わせることで安全なロボットシステムの構築が可能です。 人を検知して減速したり、一時停止するという機能があり、生産性と協働性の両立を実現します。 これまで以上に人とロボットの物理的・精神的な距離を縮め、ロボットがより身近になります。 【特徴】 ○PLe, SIL3に適合した安全エンコーダ、安全入出力、安全PLCを採用。 ○セーフスピード、セーフストップ、セーフゾーンなどの協調動作に必要な機能 ○密閉構造：クリーンもしくは厳しい環境においての使用・洗浄が容易 ○高剛性構造：動的性能を改善 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲：すべての動作範囲で最適な動作
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
産業用協働ロボット TX2-40 6軸ロボット
ストーブリTXシリーズの性能はそのままに安全機能を追加して人とロボットの協働作業ができるロボットです。
TX2-40 6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。 この協働タイプロボットは、センサ類と組合わせることで人とロボットによる作業エリアの共有が可能です。 TX2-40産業用協働ロボットは、安全規格を取得し、PLeおよびSIL3クラスの安全に関する仕様をもっているため、柵の要らない安全なロボットシステムの構築が可能です。 セーフスピードやセーフストップなどの機能があり、人が周りにいないときは高速で作業をし、人を検知したときに停止するような使い方が可能。 生産性と協働作業を両立させます。 【特徴】 ○PLe, SIL3に適合した安全エンコーダ、安全入出力、安全PLCを採用。 ○セーフスピード、セーフストップ、セーフゾーンなどの協働動作に必要な機能 ○密閉構造：クリーンもしくは厳しい環境においての使用・洗浄が容易 ○高剛性構造：動的性能を改善 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲：すべての動作範囲で最適な動作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
産業用協働ロボット TX2-60 6軸ロボット
ストーブリTXシリーズの性能はそのままに安全機能を追加して人とロボットの協働作業ができるロボットです。
TX2-60 6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。 この協調タイプロボットは、センサ類と組合わせることで人とロボットによる作業エリアの共有が可能です。 【特徴】TX2-60産業用協働ロボットは、安全規格を取得し、PLeおよびSIL3クラスの安全に関する仕様をもっているため、柵の要らない安全なロボットシステムの構築が可能です。 セーフスピードやセーフストップなどの機能があり、人が周りにいないときは高速で作業をし、人を検知したときに停止するような使い方が可能。 生産性と協働作業を両立させます。 ○PLe, SIL3に適合した安全エンコーダ、安全入出力、安全PLCを採用。 ○セーフスピード、セーフストップ、セーフゾーンなどの協調動作に必要な機能 ○密閉構造：クリーンもしくは厳しい環境においての使用・洗浄が容易 ○高剛性構造：動的性能を改善 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲：すべての動作範囲で最適な動作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
産業用協働ロボット TX2-90 6軸ロボット
ストーブリTXシリーズの性能はそのままに安全機能を追加して人とロボットの協働作業ができるロボットです。
TX2-90 6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。 この協働タイプロボットは、センサ類と組合わせることで人とロボットによる作業エリアの共有が可能です。 TX2-90産業用協働ロボットは、安全規格のPLeおよびSIL3に適合するため柵の要らない安全なロボットシステムの構築が可能です。 安全機能としてセーフスピードやセーフストップなどの機能があり、例えば人が周りにいないときは高速で作業をし、人を検知したときに安全停止するような使い方ができます。 生産性と協働作業を両立させることが可能です。 【特徴】 ○PLe, SIL3に適合した安全エンコーダ、安全入出力、安全PLCを採用。 ○セーフスピード、セーフストップ、セーフゾーンなどの協働動作に必要な機能 ○密閉構造：クリーンもしくは厳しい環境においての使用・洗浄が容易 ○高剛性構造：動的性能を改善 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲：すべての動作範囲で最適な動作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
- 企業：神津精機株式会社
- 価格：応相談
最大可搬30kg 協働型6軸ロボット TX2-140/160
ストーブリTXシリーズの性能はそのままに安全機能を追加して人とロボットの協働作業ができるロボットです。
TX2-140 6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。 この協働タイプロボットは、センサ類と組合わせることで人とロボットによる作業エリアの共有が可能です。 TX2-140産業用協働ロボットは、安全規格のPLeおよびSIL3に適合するため柵の要らない安全なロボットシステムの構築が可能です。 安全機能としてセーフスピードやセーフストップなどの機能があり、例えば人が周りにいないときは高速で作業をし、人を検知したときに安全停止するような使い方ができます。 生産性と協働作業を両立させることが可能です。 【特徴】 ○PLe, SIL3に適合した安全エンコーダ、安全入出力、安全PLCを採用。 ○セーフスピード、セーフストップ、セーフゾーンなどの協働動作に必要な機能 ○密閉構造：クリーンもしくは厳しい環境においての使用・洗浄が容易 ○高剛性構造：動的性能を改善 ○ストーブリ独自の減速ギア(特許取得) ○広い動作範囲：すべての動作範囲で最適な動作
- 企業：ストーブリ株式会社
- 価格：応相談
ロボット／単軸ロボット FLIP-Xシリーズ【山善TFS】
組立や検査など多様な用途に利用可能な汎用ロボット！
○大きなモーメント負荷にも対応 ４列サーキュラー溝式２点接触ガイド ○ダイレクトカップリング構造で容易メンテナンス ○位置検出器には耐環境性に優れたレゾルバ採用 ○用途に応じたコントローラをご用意
- 企業：株式会社山善
- 価格：応相談
産業用 6軸ロボット『N6シリーズ』
産業用６軸ロボット。独自のアーム構造による高いスペース効率！工場の省スペース化や生産性向上を実現できます
産業用6軸ロボット『N6シリーズ』は、新型アーム構造により、従来型の6軸ロボット （C8シリーズ）では入り込めなかった狭いスペースに入り込み、低所や 高所の空きスペースを有効活用できる高い省スペース機能を持っています。 小型電子機器製品や車載部品の検査機への搬送、医療製品の棚入れ・棚出し などの用途において、棚の上部から下部まで幅広い空間にアクセスできる 特性を生かし、工場の省スペース化や生産性向上を実現できます。 【特長】 ■最大可搬質量：6.0kg ■最大リーチ：860mm、1010mm ■独自のアーム構造によって同等のスペースで 低所・高所の幅広いエリアへアクセス可能 ■前後左右が棚に囲まれている場合、約75%のスペースを削減 ■J5軸－J6軸のアーム先端に中空構造を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エプソン販売株式会社 本社
- 価格：応相談
6軸マニピュレータ『MPS/SMR/USMシリーズ』
サブミクロン分解能で、6自由度の正確な位置決めが可能！用途に応じた好適な組み合わせをご提案
当社が取り扱う6軸マニピュレータ『MPS/SMR/USMシリーズ』をご紹介します。 様々なステッピングモーターやサーボモーターを自由に選択可能。 “回転中心下向き”をはじめ、“逆さ使い”“全軸ボールネジ駆動”など 組み合わせが自在です。 位置決め後のワークに対する加圧を前提とした高強度設計となっており、 高分解能タイプやストローク変更など、50パターンの豊富な製作実績もございます。 【特長】 ■手のひらサイズの超小型 ■0.05μmを手動で操作 ■ズレない6軸 ■30kg高荷重もサブミクロンで ■組み合わせ自在 ■モーターを自由に選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：神津精機株式会社
- 価格：応相談
ワンストップSolution『単軸ロボット+ACサーボモーター』
単軸ロボットに当社製ACサーボモーターを組付けてご提供！ 位置決めにおける省力・省人化、生産性向上に貢献します。
当社では、単軸ロボットとモーターやドライバを合わせたワンストップSolution『単軸ロボット＋ACサーボモーター』としてユニットでの展開をしています。 省力・省人化、生産性向上などを目的に導入が増えている位置決め機器、単軸ロボット。 当社では、ボールねじやリニアガイドウェイなど直動機器と メカトロ製品の総合メーカーとして培ってきた技術をもとに、 高精密型や静音型、軽量型、高防塵型など幅広いラインアップの単軸ロボットのほか、モーターやドライバーなどメカトロ製品も幅広くラインアップ。 仕様にあわせて自由自在の組合せでご提供します。 ※詳しくは「PDFダウンロード」より資料をご覧ください。お問合せもお気軽にどうぞ。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
