静電チャックとは、静電気の力で被加工物を固定する装置です。半導体製造や真空装置で使用され、機械的なクランプを必要としません。微細な位置決めや平坦保持が可能で、繰り返し使用できます。電極構造や材質によって吸着力が異なります。
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くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置向け静電チャックです。 大気～高真空 極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。導体~絶縁体基板 吸着可能
半導体製造装置内で運用する静電チャックです。 大気～高真空 極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。また 導体~絶縁体基板まで幅広い材質が吸着できます。 ・Si 化合物半導体 サファイヤ 水晶 LT LN 半導体向け基板 導体から絶縁体まで吸着が可能です。 ・接着剤フリーの為 極低温領域-100℃でも運用が可能です。 ・弊社特有技術 ワークと静電チャック接触界面のみで保持力が働くため、裏面側の影響をうけません(裏面帯電等の影響なし）
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
