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高真空蒸着装置×株式会社真空デバイス - 企業1社の製品一覧

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卓上型高真空蒸着装置VE-2013

卓上小型サイズの高真空蒸着装置です。 カーボン蒸着・金蒸着・アルミ蒸着・クロム蒸着などが簡単に実現可能です。

★ VE-2013はVE-2030(弊社製)のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。 ★ TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません(RPは床置き)。 ★ 小型TMP+RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。 ★ 排気操作はタッチパネルスイッチのON/OFFのみで全自動制御。 ★ タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。 ★ カーボン蒸着はφ0.5mmの専用カーボンを蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。 (φ5mmカーボンロッドは使用出来ません。)

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高真空蒸着装置

多彩なオプションに対応した、高真空蒸着装置です。

一歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。 ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。高真空は膜純度の向上、膜密度の向上に貢献します。 パネルの EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行います。タッチパネル+プログラム制御で操作ミスを防止する安全設計です。 VE-2050 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。

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