高圧用 高純度ガス用圧力調整器
高純度ガス・高精度標準ガス・半導体材料ガスまで幅広く利用可能
ガス・真空・低温機器供給のR&D、川口液化ケミカル社が取扱う 高純度ガス用圧力調整器のご紹介です
- 企業:川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年11月19日~2025年12月16日
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高純度ガス・高精度標準ガス・半導体材料ガスまで幅広く利用可能
ガス・真空・低温機器供給のR&D、川口液化ケミカル社が取扱う 高純度ガス用圧力調整器のご紹介です
耐食性に優れたモネル製!SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力調整器
日酸TANAKA株式会社の『S-LABO M1シリーズ』は、 高腐食性ガスでの使用に対応した高圧用圧力調整器です。 特に、SUSも使用できない腐食性の高いガスに対応するため、 本体材質に耐食性の高いモネルを採用しています。 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用し、 入り口側には出流れ防止のためのフィルターを内蔵しました。 【特長】 ■高圧用 ■標準ガス、高純度ガス、腐食性ガス対応 ■耐食性に優れたモネル製 ■高腐食性ガスでの使用に最適 ■パージバルブ、Heリークテスト可能。(各オプション) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
純度保持性能に優れた標準ガス、高純度ガス用圧力調整器!
日酸TANAKA株式会社の『S-LABOII LAB1シリーズ』は、真鍮製の一次側高圧用機種で、 S-LABOIIシリーズの中でも最もスタンダードな調整器です。 ● 標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に好適 - 外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイヤフラムを採用 - 内部リーク低減のために、フィルターを内蔵しています ● 幅広い製品を在庫。お急ぎのご要望に応えます ● 在庫品にご希望の製品がない場合、変換継手等ご提案いたします 是非ご相談ください 【特長】 ■優れた純度保持性能 ■バルブにフッ素系グリスを使用 ■入口側にフィルターを内蔵 ■標準ガス、高純度ガスに対応 ■SUS316Lメタルダイヤフラムを採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低圧配管、アウトレットパネルなどに好適な圧力調整器!
日酸TANAKA株式会社の『S-LABOII LABLシリーズ』は、真鍮製の一次側低圧用に最適化された調整器です。 低圧配管や、アウトレットパネルへの組み込みに好適です。 ● 標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に好適 - 外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイヤフラムを採用 - 内部リーク低減のために、フィルターを内蔵しています ● 幅広い製品を在庫。お急ぎのご要望に応えます ● 在庫品にご希望の製品がない場合、変換継手等ご提案いたします 是非ご相談ください 【特長】 ■優れた純度保持性能 ■入口側にフィルターを内蔵 ■標準ガス、高純度ガスに対応 ■SUS316Lメタルダイヤフラムを採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々な用途に適用可能!高圧用の真鍮製一般工業ガス用圧力調整器
『JETVシリーズ』は、供給圧力が入口圧力変化の影響を受けない 二段減圧式の一般工業ガス用圧力調整器です。 二段減圧構造により、出口圧力がボンベ圧力の変動に影響されず、 高精度で維持でき、長時間一定の圧力供給が必要な場合に好適。 一段目減圧弁、二段目減圧弁それぞれの入口にフィルターを内蔵し、 内部リークトラブルを低減します。 【特長】 ■出口圧力がボンベ圧力の変動に影響されず、高精度で維持できる ■微圧、微流量の調整に適する ■ダイヤフラムにはテフロンカバーを施し、H2、Heでの使用にも適する ■出入口フリー仕様を活用することで様々な用途に適用可能 ■全て標準在庫品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
各種ガス供給設備・装置に幅広く対応!フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減
『NT50B・NT50S』は、配管・管接続タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 SUS製の圧力計カバーを採用し、圧力計からのサビの発生を抑えているほか、 フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減。 ガスの入口方向が選択可能で、プリンス35 シリーズと同じ面間寸法(157mm) の製品も製作できます。 【特長】 ■SUS製の圧力計カバーを採用し、圧力計からのサビの発生を抑えた ■フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減 ■ガスの入口方向が選択可能 ■プリンス35 シリーズと同じ面間寸法(157mm)の製品も製作できる ■各種ガス供給設備・装置に幅広く対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
圧力変動が少なく、集合装置・各種ガス供給設備・装置に適しています!
『オーロラ3』は、配管・管接続タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 圧力変動が小さいコンペンセーション式構造で、入口圧力が変動しても設定した 出口圧力に大きな変化はなく、集合装置・各種ガス供給設備・装置に好適。 作動性の良い大型の排出弁を装備しておりますので、安全にご使用いただけます。 【特長】 ■ウイングL-200では流量能力が不足している場合に使用 ■集合装置用をはじめとする各種ガス供給設備・装置に幅広くご使用いただける ■圧力変動が小さいコンペンセーション式構造 ■入口圧力が変動しても設定した出口圧力に大きな変化はない ■作動性の良い大型の排出弁を装備し、安全にご使用いただける ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
低リークでローデッドスペース!大気観測、環境測定、高純度ガス用小型圧力調整器
『ATR』は、ステンレス製の標準ガス・高純度ガス用圧力調整器です。 重さは約700gと超軽量コンパクト。入口継手はボディに溶接済みで、 有害大気汚染物質測定に対応しています。 メタルダイヤフラムを採用し、優れた純度維持能力を有しています。 【特長】 ■重さは約700gと超軽量コンパクト ■低リークでローデッドスペース ■入口継手はボディに溶接済み ■メタルダイヤフラムを採用し、優れた純度維持能力 ■有害大気汚染物質測定に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
接ガス部のネジ構造を排除!非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現!
『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次室の流路にフィルターを内蔵!特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます
『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用 いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
TORR調整器をベースに開発!Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施!
『S-TORRV2300SH/2300AHシリーズ』は、腐食性ガス用の圧力調整器です。 「STV2300SHシリーズ」は、要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が 特に大きい部品に、「STV2300AHシリーズ」は、調整器本体の接ガス金属部 すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 【特長】 ■腐食性ガス用機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
負圧制御、低蒸気圧用機種!一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次室の流路にフィルターを内蔵!減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整器
『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや 室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける 高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
電解研磨仕様品の製作も可能!"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器
『TORR-50/80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施している高純度ガス用圧力調整器です。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次側低圧用中流量機種!組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施!
『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。