【半導体製造向け】AI外観検査システム RoxyAI
ウェーハ検査の自動化を、簡単操作と短時間学習で実現
半導体製造業界、特にウェーハ検査においては、微細な欠陥を高精度かつ迅速に検出することが、製品の品質と歩留まりに直結します。 わずかな異物やパターン欠陥の見落としは、後工程での重大な問題を引き起こす可能性があります。 そのため、熟練したオペレーターによる目視検査の負担軽減と、検査精度の安定化が求められています。 RoxyAIは、専門知識がなくても簡単にAIモデルを作成でき、少量データから短時間で高精度な検査を実現するため、ウェーハ検査の自動化と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ表面の異物検出 ・パターン欠陥の検出 ・ウェーハの個数カウント ・ウェーハのサイズチェック 【導入の効果】 ・検査精度の向上と安定化 ・検査時間の短縮による生産性向上 ・目視検査担当者の負担軽減 ・人的ミスの削減
- 企業:三共精機株式会社 本社
- 価格:応相談