更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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ユニットクーラーから「黒い異物」が飛散！トラブルが無事解決した事例のご紹介
工場のユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしいとの依頼をいただきました。 【事例】 ■課題 ・ユニットクーラーから「黒色の異物」が飛散しているので調べてほしい ■解決策 ・「走査型電子顕微鏡～エネルギー分散型X線（SEM-EDX）」で元素分析 ・「フーリエ変換赤外分光法」による有機物の分析、異物の表面と切断面を比較
光学顕微鏡より遥かに高分解能！ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に適しています
「卓上走査型電子顕微鏡」は、真空中に細く絞った電子線で試料表面を 走査し、試料から出てくる情報を検出して拡大表示させる顕微鏡です。 光学顕微鏡より遥かに高分解能で、ミクロでの表面観察や表面凹凸の 確認に好適。 また、表面観察のほかに、X線検出器を用いたEDS元素分析により、 試料表面にどんな元素がどの程度含まれているかを確認することが可能です。 【特長】 ■加工が難しい試料やそのまま観察したい試料等に有効 ■最大W100mm×D100mm×H40mmまでの試料を試験台にセットできる ■ユーセントリックホルダを活用することで、試料の傾斜・回転が可能 ■ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に好適 ■線検出器を用いたEDS元素分析により、試料表面にどんな元素が どの程度含まれているかを確認することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEM-EDXによる形状観察及び簡易定量分析
半導体ウェハ製造プロセスにおけるパーティクルの制御は、ウェハの品質を担保する上で非常に重要です。本事例では、Siウェハ上パーティクルのSEM観察及びEDX分析と簡易定量(※1)によって、パーティクルが何かを推定しました。サブミクロンの高い空間分解能を持ち、数cmの領域を走査できるSEM装置では、形状及び組成情報からウェハ上のパーティクルが何かを速やかに推測でき、発生工程を素早く特定することができます。欠陥検査装置の座標データとリンクした分析も可能です。
最大200nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応！分析能力も強化
広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できる 「FE-SEM」を導入した事例をご紹介いたします。 表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩な イメージング能力を装備。 複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、これまでより 短い時間で多くの情報を得られるようになりました。 【事例概要(抜粋)】 ■導入製品：HITACHI製SU7000 ・電子源：ZrO/Wショットキータイプエミッター ・二次電子分解能：0.8nm(加速電圧 15kV)、0.9 nm(加速電圧 1kV) ・加速電圧：0.1～30kV ・倍率：20～2,000,000倍(装置スペック) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
