IPA蒸気乾燥装置
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 ・ウォーターマークフリー ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 ・微細パターンへ対応可能 ・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
- 企業：株式会社渡辺商行
- 価格：応相談
