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3次元(6自由度)でコントロール！搭載物に左右されない除振性能を有します
『MEシリーズ』は、搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵の アクチュエータで逆位相の力を加える事で振動を制御できる除振システムです。 アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は、明立精機オリジナルの 制御システムにより自動で最適化。 装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を 落とさずご利用いただけるようになりました。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■3次元(6自由度)でコントロール ■自動アクティブ調整＆自動レベリング ■搭載物に左右されない除振性能 ■ハニカム光学定盤搭載可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
従来品と同じ性能でスリム化を実現！空圧アクティブ除振ユニット
アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」は、VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。 独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。 床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。 【特徴】 ○VAAV-Aシリーズと同性能でありながら、装置の全高を低く抑えることが可能 ○空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能 ○大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能 ○CEマーキング対応の安心安全設計（コントローラSAC-07） ○ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
除振台種類と主要部品のご紹介と除振台構成例と除振台の特性例を記載しています。
＝掲載内容＝ １．除振台の除振効果 ２．除振台の衝撃応答 ３．防振材の種類と性能 3-1防振材の種類別特徴⽐較 3-2空気ばね（ベローズ型）タイプ 3-3空気ばね（ダイヤフラム型）タイプ 3-4コイルスプリングタイプ 3-5防振ゴムタイプ ４．⾃動レベル調整器 ５．除振効果の測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
エアサーボアクティブ除振装置で対策！全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました
液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。 大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を 事前調査したところ許容値を超えていました。 本測長機は光学的にパターンの線幅を観測するもので振動環境に対して 敏感なため、エアサーボアクティブ除振装置で対策を実施。 アクティブ除振対策後は、装置の振動許容値をクリアし、 また全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました。 【事例概要】 ■課題：大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の 振動環境を事前調査したところ許容値を超えていた ■対策：エアサーボアクティブ除振装置を設置 ■効果：装置の振動許容値をクリアし、また全周波数域に亘って 良好な振動環境を構築することができた ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
