アクティブ除振システム『MEシリーズ』
3次元(6自由度)でコントロール！搭載物に左右されない除振性能を有します
『MEシリーズ』は、搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵の アクチュエータで逆位相の力を加える事で振動を制御できる除振システムです。 アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は、明立精機オリジナルの 制御システムにより自動で最適化。 装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を 落とさずご利用いただけるようになりました。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■3次元(6自由度)でコントロール ■自動アクティブ調整＆自動レベリング ■搭載物に左右されない除振性能 ■ハニカム光学定盤搭載可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
