【テクニカルガイダンス】精密振動系製品
パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで!ナノ時代のファインテクノロジーを支える特許機器
当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のための テクニカルガイダンスです。 装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、 空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、 振動制御技術バリエーションなどを掲載。 パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで『精密振動系製品』を 多数紹介しています。 【掲載内容(抜粋)】 ■ナノ時代のファインテクノロジーを支える「精密振動系」 ■微振動環境をトータルサポートする特許機器 ■装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットαシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:特許機器株式会社
- 価格:応相談