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ローコスト、省スペースに高速な外観検査を実現！AI搭載のウェハ外観検査装置
『Cosmo Finder』は、顕微鏡を利用したウェハの外観検査を画像処理を 使って高速・高精度に実現する装置です。 画像処理ソフト開発30年以上の経験から多くのお客様の要望を取り入れ、 様々な欠陥の認識に対応することが可能です。今まで検出が困難だった 異物やキズなども威力を発揮します。 また、本体内部に光学ユニット、駆動ユニット、画像処理ユニット、 制御ユニットをビルトインし、省スペースながらハイパフォーマンスを実現。 製造工程からR&D部門まであらゆるシーンで利用していただくことができます。 【特長】 ■省スペース設計 ■画像解析30年以上の経験が高精度な検査を実現 ■AIによる分類技術が課題解決をサポート ■様々なオプション対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能！高速かつ高精度な検査を実現
『ウエハ外観検査装置(ダイシング前)』は、ウエハ工程で発生する 外観欠陥を高速かつ高精度で検査が可能な装置です。 検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(マクロ検査約10um分解能以上) また、ビューワーソフトは、検査結果マップ表示機能・NGチップ拡大表示機能・ 不良分類表示機能(不良項目/検査総数/OK/NG)がお使いいただけます。 【特長】 ■多機能画像検査ソフトHu-Dra ■ウエハ工程で発生する外観欠陥の検査が可能 ■オートフォーカス機能(オプション) ■全数のマーキングミスチェック機能(オプション) ■ID読込み及びマッピングデータ出力機能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
検査内容に合わせた機能の選択、豊富なオプション機能による高精度検査が可能なウエハ外観検査装置
当社が取り扱っている『ウエハ外観検査装置』について ご紹介いたします。 ウエハ工程で発生する外観欠陥を高速かつ高精度に検査可能。 検査対象はLSI、LD、Di、LED、パワー半導体、化合物半導体、MEMS。 検査例はカケ・ワレ、クラック、スクラッチ、パターン異常、異物、 塗布不良、ズレです。 【特長】 ■検査内容に合わせた機能の選択が可能 ・ミクロ検査、マクロ検査 ・カラー検査、モノクロ検査 ・エリアカメラ、ラインカメラ ・表面検査、表裏面検査 ■豊富なオプション機能による高精度検査が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
激化する競争に勝つ！ローコストでハイパフォーマンスマシンをご紹介
『OVS-5120シリーズ』は、ロードポートから供給されたウエハを XYθステージにセットし、高速高解像度カラーエリアカメラで、 致命欠陥検出を行うウェハ外観検査装置です。 不良品に良品を入れず、特殊照明とソフトウェアで安定した不良検出。 また、ロット間バラツキ吸収ソフトウェアで、独自の学習ソフトを 搭載しております。 【特長】 ■驚異の検出力 ■再現性 ■現場に強い対応力 ■誰でも簡単レシピ ■ローコスト/ハイパフォーマンスマシン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
