エキシマUV照射装置
エキシマ光で効率よく表面洗浄、改質!
高光子エネルギー真空紫外光源のエキシマランプによって有機物洗浄、表面改質を低温で行うことができます。 フラットタイプは面自体が発光する高出力、高密度高分布モデルです。
- 企業:株式会社クォークテクノロジー
- 価格:応相談
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エキシマ光で効率よく表面洗浄、改質!
高光子エネルギー真空紫外光源のエキシマランプによって有機物洗浄、表面改質を低温で行うことができます。 フラットタイプは面自体が発光する高出力、高密度高分布モデルです。