インナーカップ式スピンコーター
インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上
【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：MAX２００mm□基板（対角300mm以内） ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約50Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション テフロンコーティング （カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル ： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚みによる） ・ 回転精度 ： ±2rpm ・ 回転表示 ： タッチパネル上にデジタル表示 ・ 回転制御 ： タッチパネルにて設定
- 企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
