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超高純度ガスをpptレベルで可視化する次世代オンラインガスアナライザー
半導体製造に不可欠な超高純度ガスの品質を、リアルタイムかつ高感度に分析するガスアナライザーです。 API-MS技術により従来法を超える検出性能を実現します。API-MSとは、大気圧イオン化を用いた高感度ガス分析技術です。 ・pptレベル（<10 ppt）の超高感度分析 ・水分・酸素・CO・CO2など多成分不純物を同時測定 ・連続オンライン監視で品質管理を自動化 ・従来技術比 最大100倍の低検出限界 ・半導体・電子材料向けUHPガス分析に最適
極限の感度と高精度を両立したFTIRガスアナライザー
Thermo Scientific MAX-iR FTIRガスアナライザーは、プロセスガス計測に特化して開発された高感度FTIR分析装置です。インラインプロセスやガス純度・認証、排出ガス試験、環境大気モニタリングなど、現場でのリアルタイムガスモニタリングに最適な設計を採用しています。 MAX-iRは、Thermo Scientific StarBoost 光学強化テクノロジーを搭載することで、FTIRの利点をそのままに、数ppb～数十pptレベルという極めて高い感度を達成。液体窒素冷却を必要としない独自の光学系設計により、設置や運用の手間を大幅に軽減しながら、高感度・高安定な測定を実現します。 また、温度・圧力補正を自動的に行う内蔵センサーと、振動・環境変動に強い堅牢設計により、長期的に安定した測定値を維持。キャリブレーションを必要とせず、プロセスライン上での連続測定や品質管理に理想的なソリューションです。 GCやMSなどの従来分析装置に比べ、MAX-iRは低運用コスト・簡易メンテナンス・高信頼性を兼ね備え、厳しい分析要求を満たすFTIRガス分析の新しいスタンダードを提案します。
GC大気中, 水中, 土壌中の自動連続モニタリング用 GC-FID
airmoVOC BTEXは、微量のベンゼン、トルエン、エチルベンゼン、 （m-/p-/o-）キシレンを測定、モニタリング可能なFID付ガスクロマトグラフです。
