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連続的なバルクガス分析によって、半導体製造プロセスのQA/QCで 求められる純度基準を保証
APIX δQおよびAPIX Quattroガスアナライザーは、大気圧イオン化質量分析法（API-MS）を用い、1本または複数の超高純度（UHP）ガス配管へ接続し、即時かつ連続的な分析を実現します。 API-MS技術では、大気圧で維持される反応室内でサンプルガスをイオン化し、質量分析計で正イオン・負イオンを高精度に検出します。このプロセスによりイオン化効率を最大化しつつバックグラウンドノイズを低減することで、極めて優れた検出感度を発揮します。 本システムは10～50pptレベルという極微量の不純物も特定でき、半導体製造など厳しい品質管理が求められる分野におけるUHPガスの連続モニタリングに最適です。 さらにクロマトグラフィーと比べても優れた柔軟性を備え、水分・酸素・二酸化炭素・一酸化炭素・メタンなど多種多様な不純物の即時測定が可能です。
極限の感度と高精度を両立したFTIRガスアナライザー
Thermo Scientific MAX-iR FTIRガスアナライザーは、プロセスガス計測に特化して開発された高感度FTIR分析装置です。インラインプロセスやガス純度・認証、排出ガス試験、環境大気モニタリングなど、現場でのリアルタイムガスモニタリングに最適な設計を採用しています。 MAX-iRは、Thermo Scientific StarBoost 光学強化テクノロジーを搭載することで、FTIRの利点をそのままに、数ppb～数十pptレベルという極めて高い感度を達成。液体窒素冷却を必要としない独自の光学系設計により、設置や運用の手間を大幅に軽減しながら、高感度・高安定な測定を実現します。 また、温度・圧力補正を自動的に行う内蔵センサーと、振動・環境変動に強い堅牢設計により、長期的に安定した測定値を維持。キャリブレーションを必要とせず、プロセスライン上での連続測定や品質管理に理想的なソリューションです。 GCやMSなどの従来分析装置に比べ、MAX-iRは低運用コスト・簡易メンテナンス・高信頼性を兼ね備え、厳しい分析要求を満たすFTIRガス分析の新しいスタンダードを提案します。
GC大気中, 水中, 土壌中の自動連続モニタリング用 GC-FID
airmoVOC BTEXは、微量のベンゼン、トルエン、エチルベンゼン、 （m-/p-/o-）キシレンを測定、モニタリング可能なFID付ガスクロマトグラフです。
