クラスタ式スパッタ装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

クラスタ式スパッタ装置の製品一覧

1～2 件を表示／全 2 件

表示件数

クラスタ式スパッタ装置 CLUSTERLINE 200

薄ウェハー搬送・裏面メタライゼーションから圧電材料まで対応する200mmクラスタ式スパッタ装置

「CLUSTERLINE 200」は、200mmウェハー向けのクラスタ式スパッタ装置です。カセットtoカセット処理と完全自動化された基板搬送を備えたクラスタアーキテクチャを採用しています。薄ウェハーの搬送や裏面メタライゼーション、AlScNなど新しい圧電材料の成膜、民生機器向けNIRバンドパスフィルターの精密成膜などに対応します。また、CLUSTERLINE 200向けの新しいPEALDモジュールにより、複雑な形状でも原子レベルで膜厚を制御した超薄膜・高コンフォーマル成膜が可能です。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

企業：日本エバテック株式会社
価格：応相談

スパッタリング装置
クラスタ式スパッタ装置

製品を詳しく見る

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録

クラスタ式スパッタ装置 CLUSTERLINE 300

薄ウェハー搬送からWLCSP・FOWLPまで対応する300mm対応クラスタ式スパッタ装置

「CLUSTERLINE 300」は、300mmウェハー向けのクラスタ式スパッタ装置です。カセットtoカセット処理と完全自動化された基板搬送を備えたクラスタアーキテクチャを採用しています。薄ウェハーの搬送や裏面メタライゼーション、WLCSP・FOWLPなどのパッケージング用途、300mmでの集積電圧レギュレーター向け軟磁性膜の成膜などに対応します。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。