薄ウェハー搬送・裏面メタライゼーションから圧電材料まで対応する200mmクラスタ式スパッタ装置
「CLUSTERLINE 200」は、200mmウェハー向けのクラスタ式スパッタ装置です。カセットtoカセット処理と完全自動化された基板搬送を備えたクラスタアーキテクチャを採用しています。 薄ウェハーの搬送や裏面メタライゼーション、AlScNなど新しい圧電材料の成膜、民生機器向けNIRバンドパスフィルターの精密成膜などに対応します。また、CLUSTERLINE 200向けの新しいPEALDモジュールにより、複雑な形状でも原子レベルで膜厚を制御した超薄膜・高コンフォーマル成膜が可能です。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【構成】 ■対応基板：200mmウェハー ■カセットtoカセット処理・完全自動搬送のクラスタアーキテクチャ ■PEALDモジュールの搭載に対応 ※構成や対応プロセスの詳細はお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
■薄ウェハーハンドリング、裏面メタライゼーション ■AlScNなど新しい圧電材料の成膜（広帯域RFフィルター等） ■民生機器向けNIRバンドパスフィルターの精密成膜 ■PEALDによる超薄・高コンフォーマル膜
企業情報
エバテックの技術は、1946年にBalzers AG社が設立されてから70年間にわたり世界中で活用されてきております。 そして今、エバテックの薄膜製造技術は、私たちの生活と働き方に革命をもたらしています。 モノのインターネット（IoT）は、世界人口70億人の7兆台のデバイスを接続する可能性を提供していますが、エバテックの薄膜製造技術がそれらを可能としています。エバテックの装置により製膜された半導体デバイスにより、世界中の何億の人々が高速ワイヤレスネットワークで繋がり、AIの進化により働き方が変わり、またAI半導体や高精度センシングにより実現した自動運転がライフスタイルを変え、パワー半導体により少ない電力で各種デバイスを駆動させる事を可能としエネルギー問題を解決します。 ワイヤレス通信で必須の高周波フィルター、自動車や照明用の高輝度LED、高集積化されたデータセンター向けAI・光電融合半導体から、携帯電話向けタッチパネルまで、高パフォーマンスの電気・光学特性を持つ薄膜製造の最先端ソリューションをお客様に提供します。
