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JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定！
JPV法（ジャンクション・フォト・ボルテッジ法）を用いているため、高速で再現性の良いマッピング測定が可能です。 【特徴】 - 非接触、非破壊測定 - プローブの調整は不要 - 測定のための特別な試料準備は不必要 - 表面に酸化膜やコーティングが存在しても測定可能 - 空間分解能の高い分布測定（マッピング）が高速で可能 - 再現性の高い測定が可能 - セミラボ社のベンチトッププラットフォームWT-2000、WT-2500、WT-3000やインラインのウェハーテスト装置に組みつけが可能
抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
FPD用シート抵抗測定器【NC-50/RG-1200S】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
光電池や半導体、透明帯電防止導板などの非接触測定に！
『EddyCus(R) TF lab 4040SR-OT-OR-H』は、導電性薄膜の シート抵抗(Ohm/sq)と光透過性と反射の正確な測定ができる 非接触シート抵抗&光伝送測定器です。 使いやすいソフトウエアによる手動マッピング。 光電池や半導体、透明帯電防止導板などの測定に用いられます。 導電性薄膜、自立構造やグリッド・ワイヤー構造などの 精密な測定が可能です。 【特長】 ■非接触測定 ■リアルタイム測定 ■精密な測定 ■使いやすいソフトウェア ■手動マッピング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使いやすいソフトウエアによるシート抵抗のマニュアルマッピング測定が可能
『EddyCus(R)TF lab 2020 series』は、非接触式シート抵抗測定器です。 導電性フィルムのシート抵抗を正確なシングルポイントで測定。 その他、金属フィルム層の厚さ測定や、薄膜、基板の 厚さモニタリングも可能です。 御希望によりマルチレイヤーシステムの特性を評価します。 【特長】 ■非接触式 ■リアルタイム測定 ■導電性フィルムのシート抵抗を正確なシングルポイントで測定(Ohm/sq) ■金属フィルム層の厚さ測定(nm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能
『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。 ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。 【特長】 ■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決 ■多数枚を迅速に計測処理する事が可能 ■0.035～3200ohm／sq.という広い範囲で優れた測定直線性 ■計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属層の厚み、光透過性、密度、電気的異方性の測定に好適なソリューション
『EddyCus(R) TF inline series』は、薄膜のシート抵抗測定や、 金属フィルム層の厚さ測定が可能な 非接触インラインシート抵抗測定ソリューションです。 高度な可変性と柔軟性を持ち、真空中内及び大気環境に対応。 使いやすいGUIと総合ソフトウェア、SQLデータベース、 統計及びエクスポートを備えております。 【特長】 ■非接触&リアルタイム測定 ■正確な測定 ■高度な可変性と柔軟性 ■真空中内及び大気環境に対応 ■シングルレーン、および複数レーンに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
