抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
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基本情報
【X-Yプローブ軸移動によるセミオート測定システム（ローダー/アンローダーロボットとのドッキングより全自動システムになります）】 ◆FPD分野における世界標準機 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラス昇降機能、センタリング機能 ◆CIM（ホスト）通信、2-D/3-Dマッピングソフトウェア ●対象ガラス基板サイズ：680mm×880mm 〜 2,200mm×2,500mm (2,880mm×3,080mmまで構想中） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
TFT、EL(OLED)、CF、太陽電池パネルなどのITO膜、各種メタル膜、n+a-Si膜など
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企業情報
抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。