セラミックガスフィルタのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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セラミックガスフィルタ - 企業1社の製品一覧

製品一覧

1~5 件を表示 / 全 5 件

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インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。

  • 半導体検査/試験装置
  • CVD装置
  • ガスフィルタ

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低圧力損失インラインセラミックガスフィルター

濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。

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  • CVD装置
  • ガスフィルタ

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低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現!

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のPGFシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。

  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体製造装置
  • ガスフィルタ

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微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型(φ21×84mm)、軽量(90g)に設計されております。

取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。

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  • ガスフィルタ

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大流量セラミックガスフィルター

流量500L/minから3 000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。

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  • CVD装置
  • ガスフィルタ

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