インラインセラミックガスフィルター
常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。
- 企業:株式会社ピー・ジェイ
- 価格:応相談
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常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。
濾過精度
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。
高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現!
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のPGFシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
SPCシリーズは超小型(φ21×84mm)、軽量(90g)に設計されております。
取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
流量500L/minから3 000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。