高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。 従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。
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基本情報
製品特徴 ・パーティクル０．００３ｍ以上の高濾過精度 ・推奨流量 ２０〜４００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量、高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・低圧力損失での高流量処理 ・高耐食性
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用途／実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ＰＧＦＬ－２－＊＊＊＊ | 流量目安 ８０～１６０ＳＬＭ |
| ＰＧＦＬ‐３‐＊＊＊＊ | 流量目安 ２０～８０ＳＬＭ |
| ＰＧＦＬ－４－＊＊＊＊ | 流量目安 １６０～４００ＳＬＭ |
| 継手 VCR、Swagelok、UPG 各種あり。口径 1/4”、3/8”、1/2”、3/4” 各種あり。 |
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品