常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。
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基本情報
製品特徴 ・パーティクル０．００３μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 １０〜２００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性
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用途／実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
ラインアップ（5）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| PGF‐2－＊＊＊＊ | 流量目安 40～80SLM |
| PGF‐3‐＊＊＊＊ | 流量目安 10～40SLM |
| PGF‐4‐＊＊＊＊ | 流量目安 80～200SLM |
| PGF‐5‐＊＊＊＊ | 流量目安 10～40SLM |
| 継手 VCR、Swagelok、UPG 各種あり。 口径 1/4”、3/8”、1/2”、3/4” 各種あり。 |
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品
