流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。
半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製セラミックガスフィルターです。
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基本情報
【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○使用可能流体はN2、O2、Ar（バルクガス）です。 ○推奨流量は500〜3,000L/min（60〜180m3/Hr）です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品