ウエハ・チップ外観検査装置
表裏同時検査可能！1台でマクロ検査・ミクロ検査どちらもできるウエハ・チップ外観検査機。LED・半導体チップに好適。
「ウエハ・チップ外観検査装置 HM-256シリーズ」は、3CMOS 320万画素カラーカメラを標準採用することにより、優れた検出能力を持ち、ウエハやダイシング後にチップの外観を高速で検査できる外観検査装置です。 ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能で、多様なパターンのチップの検査が可能です。 【特長】 ■品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能 ■組込用顕微鏡によりサブミクロンの分解能での検査も可能（オプション） ■画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能 ■一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を使用した検査が可能 ※詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせ下さい
- 企業：株式会社ヒューブレイン
- 価格：応相談
