高真空型ドライ真空ポンプ KHAシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。
■到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。 ■運転真空度が高く、電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適です。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ(運転) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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ドライ真空ポンプの製品一覧
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ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
空冷式ドライ真空ポンプ FR060D
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
ドライポンプ 高真空KHH251
高真空1.3kPa[abs]の連続運転をドライで実現
【仕様】 ■到達圧力 1.3kPa[abs]以下 ■流量 179L/min(60Hz) 【特長】 ■到達圧力1.3kPa[abs]以下の状態で連続使用ができ、高真空を必要とする各種業界に最適です。 ■モータフランジ直結のコンパクトタイプです。 ■運転音が小さく長寿命です。
- 企業：オリオン機械株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『オートドレントラップ AADT』
水封式真空ポンプからドライ真空ポンプへの切替のご提案
『オートドレントラップ AADT』は、気体と液体(ドレン)を 同時吸引しても、真空ポンプへの液体を防止できる ドライ真空ポンプです。 水などの液体を99％除去し、真空ポンプ運転中も真空度を 損なうことなくドレンを排出できるため、 長時間連続運転が可能です。 【特長】 ■水封式ポンプに比べ、電気・水道代が、約3割安くなる ■連続運転しながらドレン排出が可能(真空度：-50～-90kPa) ■ドレン排出量 ・50Hz地区：20L/min ・60Hz地区：25L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
高真空型ドライ真空ポンプ KHH
オリオン機械/真空ポンプ。高真空1.3kPa[abs]の連続運転をドライで実現。
■到達圧力1.3kPa[abs]以下の状態で連続使用ができ、高真空を必要とする各種業界に最適です。 ■モータフランジ直結のコンパクトタイプです。 ■運転音が小さく長寿命です。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ LEYVACシリーズ
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
大型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・低運転音を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により10％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
標準型ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプCRシリーズ
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『ECODRY 40 / 65 plus』
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
スクリュー式ドライ真空ポンプ
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『FTPシリーズ』
高効率モータ搭載で省エネと低騒音を実現！プレミアムパッケージ真空ポンプ
アンレットの『FTPシリーズ』は、高効率モータ搭載により、 次世代の効率を実現した、ドライ真空ポンプです。 従来機よりモータ容量をワンランクずつダウン。 必要な真空度に合わせて回転速度を調整するほか、 IE3モータと合わせ、大幅な省エネを実現します。 また、目標圧力値に対し、現在圧力値から適切な運転を検出。 運転の必要がない号機は停止することで、さらなる省エネに貢献します。 【特長】 ■省エネ・低騒音を実現 ■簡単タッチパネル操作で電力コストを最適化 ■複数台使用する場合は台数制御で省エネ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプGRシリーズ
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
ケミカルプロセス用 ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』
凝縮性ガスの吸引に好適！ケミカルプロセス用の汎用ドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に好適です。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、又、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプECO-SHOCK
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
真空蒸留・真空濃縮用 ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』
組み合わせにより高真空及び大風量の仕様にも対応可能！化学プラント向けの汎用ドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
小型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・環境対応・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により2～5dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により20％アップ(従来比)。 ■RoHS指令標準対応。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
真空機器 ルーツ式ドライ真空ポンプ VP3-2501
ドライ真空ポンプの問題点を解決！
四葉機械製作所独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○排気には封水・封油を含まずクリーンな真空 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現 ○独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式 回転するローター内部とケーシング･ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去 常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つ ○凝縮性ガス対応 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないので、廃液処理費が不要 ○ISO14001、PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式の為、各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応可能。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
高性能スクリュー型ドライポンプ SCREWLINE
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
『6段式ドライ真空ポンプ』総合カタログ ※無料配布中
【新製品】LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われるドライ真空ポンプ。今なら総合カタログを無料でプレゼント！
油回転・スクリュー式ポンプの代替や、LED・スマートフォンなどの各種製造プロセスに使われる多段ルーツ式ドライ真空ポンプが新発売されました。 高真空・高効率で地球にとても優しいドライガスで排気します。今なら、その総合カタログを無料でプレゼントしますので、 詳しくはお気軽に問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
コンビネーションパッケージ型ドライ真空ポンプ CBXPシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、 ブロワ・ブロワ等の各種組合せ。
■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3～5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『FT6/CT6シリーズ』
地球環境にベストマッチのルーツ式！低コストのドライ真空ポンプ
『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
【環境に配慮】革新的なライボルトのドライソリューション
お客様に新たな価値を提供するドライポンプソリューション。廃棄物の削減や消費エネルギーの削減を実現する、環境に配慮したポンプです。
今、環境問題は世界的に注目されています。ドライ真空ポンプの使用に切り替えることによって、オイルや廃棄物を削減することができ、消費電力を減らすことで二酸化炭素の排出量を削減ることができます。 また、空冷式のポンプを選択すれば、水の使用量も削減できます。 ライボルトはさまざまなドライポンプ製品群を提供しています。多様な特長を持つドライポンプから、お客様の課題を解決するソリューションが見つかります。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
乾燥装置用 ドライ真空ポンプ『TRMシリーズ』
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
