44mmで120µm動作の小型Z軸ピエゾステージ P-611.Z
44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1％のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、Ｘ軸、ＸＹ軸、ＸＺ軸、ＸＹＺ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
