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15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
光学系の調整では、光軸や光学素子の位置を微小量で安定して制御できることが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡、レーザー光学系、干渉計などにおける微小位置補正やアライメント用途に適しています。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡の対物レンズ位置調整 ・レーザービームの微調整 ・光ファイバーアライメント ・分光器のスリット位置調整 ・干渉計のミラー位置補正 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・微小位置補正の安定化
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
フォトニクス分野では、光学素子や光ファイバーの位置決めにおいて、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。光学アライメントや微小位置補正用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・光ファイバーアライメント ・光ファイバーアライメント ・光学素子の微調整・位置補正 ・レーザービーム経路の精密位置決め ・フォトニックデバイス評価 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
顕微鏡用途では、試料や光学系をナノメートルレベルで安定して位置決めできるステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムにおける試料の微小走査や位置補正用途に適しています。 【活用シーン】 ・顕微鏡による試料の微小走査 ・フォーカス位置の微調整 ・高分解能観察時の位置補正 マイクロ・ナノスケールでの位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
ナノテクノロジー分野では、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性を備えた位置決め機構が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。ナノスケールでのサンプル位置調整や微小変位制御を必要とする研究開発用途に適しています。 【活用シーン】 ・走査型プローブ顕微鏡（SPM）の位置制御 ・ナノリソグラフィーにおける微小位置調整 ・微細加工プロセスの精密アライメント ・ナノ材料評価・表面解析 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・安定した微小変位制御
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
バイオテクノロジー分野における細胞観察やマイクロマニピュレーションでは、微小変位を安定して制御できる位置決めステージが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡システムへの組込みや、微小サンプルの位置調整用途において、ナノメートルレベルの位置決めをサポートします。 【活用シーン】 ・顕微鏡下でのサンプル微調整 ・細胞観察時のフォーカス・位置補正 ・マイクロマニピュレーション用途 ・バイオサンプルの精密位置決め 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性
