プラズマクリーナー PC-1100
プラスチックパッケージや液晶基板、ハイブリッドICなどの表面クリーニングに最適なバッチ式のプラズマクリーナーです。
反応室内に電極棚を複数段装備できるため、小型部品からFPD用角型基板に至るまでさまざまな形状の基板の多数処理が可能です。また、三種類の処理モード（RIEモード、プラズマモード、ダウンストリームモード）を選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能なプラズマクリーナーです。
- 企業：サムコ株式会社
- 価格：応相談
プラズマクリーナ×サムコ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧
プラズマクリーナの製品一覧
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プラズマクリーナー PC-300
表面改質に適したバッチ式のプラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー）です。
本装置では、RIEモード、プラズマモードから処理モードを選択できるため、基板の種類に応じた最適な処理を行うことが可能です。また、省スペースで場所を選ばす、卓上型で非常にコンパクトな設計のプラズマクリーナーです。
- 企業：サムコ株式会社
- 価格：応相談
